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Tecnologías de Microfabricación
El curso "Tecnologías de Microfabricación" de la Maestría en Ingeniería Eléctrica en la UACJ, se enfoca en prácticas avanzadas de microfabricación, especialmente en MEMS y VLSI. Cubre temas como prácticas en clean room, manipulación de químicos peligrosos, diseño y fabricación de máscaras litográficas, fotolitografía, depósito de metales, ataque químico y oxidación de silicio, entre otros. El curso combina teoría y práctica, requiriendo habilidades en diseño y análisis de proyectos de ingeniería, y se evalúa a través de exámenes, tareas, prácticas y un proyecto.
Inicia sesión para inscribirteInicio
25/01/2024
Duración
16 semana
Dedicación
3 horas por semana
Precio
Convenio con UACJ
Idioma
Español
Modalidad
Curso masivo en línea
Horarios
-
Jueves de 6 pm a 9 pm - Hora de Ciudad Juárez
Inicia 25/01/2024
Prerequisitos
Requisitos
Perfil de ingreso
Perfil de egreso
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Contenido del curso
Prácticas de Clean room y protocolos de seguridad
Protocolos de seguridad
Reglas de manipulación de químicos y materiales peligrosos
Químicos y materiales peligrosos
Fotolitografía y diseño de máscaras litográficas
- Resina negativa - Resina positiva - LaserWriter - Depósito de resina por spin coat y litografía - Alineadora de Máscaras - Caracterización del grosor de las resinas - Practicas
Depósito de metal por Sputtering y Evaporación
- Depósito de Cromo por Sputtering - Depósito de metal por Evaporación (Cobre)
Ataque químico
- Ataque químico BOE sobre óxido - Ataque químico KOH sobre Silicio 100/110
Ataque Seco con RIE y con DRIE
- Ataque por plasma con O2 - Ataque por plasma DRIE para maquinado de Silicio - Caracterización de maquinado DRIE
Practicas
- Proceso de oxidación del Silicio - Proceso de difusión en Silicio - Litografía lift-off - SOI MEMS CICTA - Transistor CICTA - Flex CICTA